[发明专利]夹具在审
| 申请号： | 202080082475.3 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN114761815A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 细川大辅;小林俊介;川村健 | 申请（专利权）人： | 株式会社友华 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66;G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;周丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种夹具。夹具(30)包括供探测头(300)设置的第1块部(100)和形成于第1块部(100)的第1吸引口(112)。在设置于探测头(300)的探针(330)的一端所在一侧存在的空气被从第1吸引口(112)吸引。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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