[发明专利]夹具

说明书

本发明提供一种夹具。夹具(30)包括供探测头(300)设置的第1块部(100)和形成于第1块部(100)的第1吸引口(112)。在设置于探测头(300)的探针(330)的一端所在一侧存在的空气被从第1吸引口(112)吸引。

技术领域

本发明涉及夹具。

背景技术

如例如专利文献1所记载，存在集成电路(IC)等电子装置的电气检查使用探测头的情况。探测头设有探针。探测头具备针板及针块。探针贯通针板及针块各自的阶梯孔。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-90760号公报

发明内容

发明要解决的课题

在对设置于探测头的探针进行更换的情况下，存在将针板(pin plate)从针块(pin plate)拆下的情况。若探针的针板侧的柱塞倾斜，则存在探针的针板侧的柱塞钩挂于针板而探针与针板一并移动的情况。在该情况下，会发生探针与针板一并被从针块拆下或从针块拆下的探针倒入针块侧的探针与探针之间等状况。例如，若探针与针板一并被从针块拆下，则会多余地产生未预定更换的探针也被从针块拆下并将未预定更换的探针放回针块的作业。另外，若从针块拆下的探针倒入针块侧的探针与探针之间，则将倒入的探针取出的作业可能会出现麻烦。因此，上述状况可能会妨碍探针的更换作业。

本发明的目的的一例在于使探针的更换容易。本发明的其他目的可根据本说明书的记载了解。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式为夹具，其包括：

第1块部，其供探测头设置；以及

第1吸引口，其形成于所述第1块部，

在设置于所述探测头的探针的一端所在一侧存在的空气被从所述第1吸引口吸引。

发明效果

根据本发明的上述一个方式，能够使探针的更换容易。

附图说明

图1是实施方式的夹具的分解立体图。

图2是图1所示的探测头的分解立体图。

图3是从与图2的视点相反侧的视点观察图2所示的针块的立体图。

图4是从与图1的视点相反侧的视点观察图1所示的上部夹具的立体图。

图5是用于说明图1所示的夹具的动作的一例的图。

图6是用于说明图1所示的夹具的动作的一例的图。

具体实施方式

以下使用附图说明本发明的实施方式。需要说明的是，在全部附图中，对相同的构成要素标注同一附图标记并适当省略说明。

在本说明书中，只要没有特别说明，“第1”、“第2”、“第3”等序数词标注用于将标注相同名称的构成简单区分，并不表示构成的特定特征(例如，顺序或重要度)。

图1是实施方式的夹具30的分解立体图。