[发明专利]夹具在审
申请号: | 202080082475.3 | 申请日: | 2020-09-07 |
公开(公告)号: | CN114761815A | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 细川大辅;小林俊介;川村健 | 申请(专利权)人: | 株式会社友华 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;H01L21/66;G01R1/073;G01R31/28 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;周丽娜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹具 | ||
1.一种夹具,其特征在于,包括:
第1块部,其供探测头设置;以及
第1吸引口,其形成于所述第1块部,
在设置于所述探测头的探针的一端所在一侧存在的空气被从所述第1吸引口吸引。
2.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于,
所述第1块部形成有凹部,
所述第1吸引口形成于所述第1块部中的划分形成所述凹部的部分。
3.根据权利要求1或2所述的夹具,其特征在于,
所述第1块部具有挠性部件,所述挠性部件与设置于所述第1块部的所述探测头接触。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的夹具,其特征在于,
所述第1块部具有突起部,所述突起部插入设置于所述第1块部的所述探测头。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的夹具,其特征在于,
所述第1块部具有隆起部,在所述探测头设置于所述第1块部时,所述隆起部沿着包围所述探测头的区域延伸。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的夹具,其特征在于,
还具备形成有第2吸引口的第2块部,
在所述探针的位于所述一端的相反侧的另一端所在一侧存在的空气被从所述第2吸引口吸引。
7.根据权利要求6所述的夹具,其特征在于,
还具备将所述第2块部以能够移动的方式支承的支承块部。
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