[发明专利]化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法有效
| 申请号： | 202080082238.7 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114787168B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 斋藤昭夫;青木雄太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社ADEKA |
| 主分类号： | C07F5/00 | 分类号： | C07F5/00;C23C16/34;C23C16/40 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 吴宗颐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种化合物，其由下述通式(1)或(2)表示。(式(1)中，R |
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| 搜索关键词： | 化合物 薄膜 形成 原料 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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