[发明专利]用于不同基板的共同静电吸盘在审
| 申请号： | 202080061576.2 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN114375487A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | V·拉马钱德兰;A·朱普迪;S·巴布 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683;H02N13/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 史起源;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于静电吸附各种基板材料的设备、方法和控制器。本公开内容的一些实施例提供具有可变极性和/或电压的静电吸盘。本公开内容的一些实施例提供了能够用作单极性和双极性静电吸盘的静电吸盘。本公开内容的一些实施例提供了双极性静电吸盘，双极性静电吸盘能够补偿基板偏压并且在不同电极处产生大约相等的吸附力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 不同 共同 静电 吸盘 | ||
【主权项】：
暂无信息
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