[发明专利]用于不同基板的共同静电吸盘

说明书

公开了一种用于静电吸附各种基板材料的设备、方法和控制器。本公开内容的一些实施例提供具有可变极性和/或电压的静电吸盘。本公开内容的一些实施例提供了能够用作单极性和双极性静电吸盘的静电吸盘。本公开内容的一些实施例提供了双极性静电吸盘，双极性静电吸盘能够补偿基板偏压并且在不同电极处产生大约相等的吸附力。

技术领域

本公开内容的实施例总体上涉及用于静电吸附基板的设备、方法和控制器。本公开内容的一些实施例允许在不修改静电吸盘的情况下吸附不同的基板材料。

背景技术

不同类型的基板具有不同的属性，从而需要在基板处理期间使用多于一种类型的静电吸盘来支撑。现有的静电吸盘(echucks)仅限于某些类型的基板，并对其他基板类型无效或不兼容。

现有的静电吸盘是独特的双极性或单极性。用当前的静电吸盘吸附封装基板可能是一个挑战，因为基板的独特属性可能需要单极性或双极性吸附方法。在某些情况下，可以使用吸附方法的组合来解吸附基板。

因此，需要既可以作为双极性静电吸盘进行操作也可作为单极性静电吸盘进行操作的静电吸盘。

发明内容

本公开内容的一个或多个实施例针对一种静电吸盘，所述静电吸盘包括：第一电极，所述第一电极由具有第一功率的第一电源供能；第二电极，所述第二电极由具有第二功率的第二电源供能；以及控制器，所述控制器连接至第一电源和第二电源。第一功率相对于基板具有第一电压和正极性或负极性。第二功率相对于基板具有第二电压和正极性或负极性。控制器配置为：控制第一功率的极性；控制第一功率的电压；控制第二功率的极性；和/或控制第二功率的电压。

本公开内容的其他实施例涉及一种吸附基板的方法。一些实施例中的方法包括：将包括单极性材料或双极性材料的第一基板放置在静电吸盘附近。当第一功率和第二功率具有匹配的极性时，第一基板包括单极性材料，并且当第一功率和第二功率具有相反的极性时，第一基板包括双极性材料。启用静电吸盘以将第一基板吸附到静电吸盘。将第一基板从静电吸盘上解吸附。将包括单极性材料或双极性材料的第二基板放置在静电吸盘附近。当第一基板包括单极性材料时，第二基板包括双极性材料，反之亦然。切换第一电源或第二电源的极性。启用静电吸盘以将第二基板吸附到静电吸盘。

本公开内容的其他实施例针对一种包括指令的计算机可读介质，所述指令在由静电吸盘的控制器执行时使静电吸盘执行以下操作：向第一电极供应第一功率，所述第一功率具有第一极性和第一电压；向第二电极供应第二功率，所述第二功率具有第二极性和第二电压；以及基于待吸附的材料来修改第一极性和第二极性。

附图说明

可参考实施例以更特定地说明以上简要总结的本公开内容，以更详细地了解本公开内容的上述特征，附图示出了其中一些实施例。然而应注意到，附图式仅示出了本公开内容的典型实施例，且因此不应被视为限制本公开内容的范围，因为公开内容可允许其他等效的实施例。

图1为根据本发明的一个或多个实施例的单极性静电吸盘的示例性图。

图2为根据本发明的一个或多个实施例的双极性静电吸盘的示例性图。

图3示出了根据本公开内容的一个或多个实施例的包括中心抽头(center-tap)电压反馈的静电吸盘的示例性图。

图4示出了根据本公开内容的一个或多个实施例的处理方法。

图5示出了根据本公开内容的一个或多个实施例的处理方法。

具体实施方式

在描述本公开内容的几个示例性实施例之前，应当理解，本公开内容不限于在以下说明中阐述的构造或工艺步骤的细节。本公开内容能具有其他实施例，并且能以各种方式被实践或执行。