[发明专利]用于选择用于样本检验的缺陷检测方法的系统和方法有效
| 申请号： | 202080049170.2 | 申请日： | 2020-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN114096832B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | B·布拉尔;李胡成;S·S·帕克 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供用于选择用于样本检验的缺陷检测方法的方法及系统。一种系统包含经配置用于基于样本上的多边形的特性将关注区域中的所述多边形区分成初始子群组且确定在由检验子系统的检测器针对所述不同初始子群组中的所述多边形产生的输出中的噪声的特性的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置用于通过组合具有所述噪声的所述特性的基本上相同值的所述不同初始子群组的任何两者或更多者而确定所述多边形的最终子群组。另外，所述计算机子系统经配置用于选择用于应用到在所述样本或另一样本的检验期间由所述检验子系统的所述检测器产生的所述输出的第一及第二缺陷检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 选择 样本 检验 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080049170.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
