[发明专利]用于选择用于样本检验的缺陷检测方法的系统和方法

说明书

本发明提供用于选择用于样本检验的缺陷检测方法的方法及系统。一种系统包含经配置用于基于样本上的多边形的特性将关注区域中的所述多边形区分成初始子群组且确定在由检验子系统的检测器针对所述不同初始子群组中的所述多边形产生的输出中的噪声的特性的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置用于通过组合具有所述噪声的所述特性的基本上相同值的所述不同初始子群组的任何两者或更多者而确定所述多边形的最终子群组。另外，所述计算机子系统经配置用于选择用于应用到在所述样本或另一样本的检验期间由所述检验子系统的所述检测器产生的所述输出的第一及第二缺陷检测方法。

技术领域

本发明大体上涉及用于选择用于样本检验的缺陷检测方法的方法及系统。

背景技术

以下描述及实例不因其包含于此节中而被承认是现有技术。

在半导体制造过程期间的各个步骤使用检验过程以检测分划板及晶片上的缺陷以促进制造过程中的更高良率及因此更高利润。检验始终是制造半导体装置的重要部分。然而，随着半导体装置的尺寸减小，检验对于可接受半导体装置的成功制造变得更为重要，这是因为较小缺陷可引起装置故障。

如在所属领域中通常提及的“关注区域”是样本上针对检验目的所关注的区域。有时，关注区域用于区分样本上经检验的区域与样本上在检验过程中未检验的区域。另外，关注区域有时用于区分样本上使用一或多个不同参数检验的区域。例如，如果样本的第一区域比样本上的第二区域更关键，那么可使用高于第二区域的灵敏度检验第一区域使得在第一区域中使用更高灵敏度检测缺陷。可以类似方式随关注区域更改检验过程的其它参数。

当前使用检验关注区域的不同类别。一个类别是传统上手动绘制的旧型关注区域。在几乎全部用户采用设计导引的检验的情况下，当前使用非常少旧型关注区域。另一类别是基于设计的关注区域。这些是基于对打印于样本上的芯片设计图案的直观推断导出的关注区域。用户尝试查看芯片设计且导出将有助于导出关注区域的方法/脚本文件。存在可用于定义这些基于设计的关注区域的多个技术及工具。由于其是从地面实况(芯片设计)导出，所以其可提供高精确度、基本上微型关注区域且还允许检验系统存储大量关注区域。这些关注区域不仅从缺陷检测观点是重要的，而且其对于噪声抑制通常也是关键的。

一些当前使用的检验方法还使用关注区域的规则群组，其中具有不同噪声行为的关注区域被分组在一起且甚至一个单个关注区域可包含具有不同噪声行为的许多不同结构。为了识别其中噪声更高的区域，必须反复执行所谓的基于设计的搜索的若干迭代。此程序耗费许多时间。

因此，涉及关注区域的用于检验的当前使用的方法及系统具有数个缺点。例如，得出结果的时间基本上缓慢，这是因为必须执行搜索具有噪声的结构的若干迭代。有时，归因于复杂性，无法手动地识别全部具有噪声的结构。在此情况中，用于检验具有较少噪声的区域的灵敏度被损及，这是因为具有较多噪声的区域落在相同关注区域群组中。此降低的检验灵敏度可防止发现关键所关注缺陷(DOI)。

因此，开发用于选择用于样本检验的缺陷检测方法而无上文描述的一或多个缺点的系统及方法将是有利的。

发明内容

各个实施例的以下描述绝不应理解为限制随附技术方案的标的物。