[发明专利]用于选择用于样本检验的缺陷检测方法的系统和方法

权利要求书

1.一种经配置用于选择用于样本检验的缺陷检测方法的系统，其包括：

一或多个计算机子系统，其经配置用于：

基于样本上的多边形的特性将所述样本上的关注区域中的所述多边形区分成初始子群组，使得具有所述特性的不同值的所述多边形被区分成不同初始子群组，并且使得所述不同初始子群组中的每一者中的全部的所述多边形都具有相同的所述特性的值；

确定在由检验子系统的检测器针对所述不同初始子群组中的所述样本上的所述多边形产生的输出中的噪声的特性，其中所述样本上的所述多边形的所述特性与所述噪声的所述特性彼此之间不同；

通过将具有所述噪声的所述特性的基本上相同值的所述不同初始子群组中的任何两者或更多者组合成最终子群组中的一者而确定所述多边形的所述最终子群组，其中所述最终子群组中的至少一者包括至少两个具有所述特性的不同值的所述多边形；及

分别针对所述最终子群组中的第一者及第二者，基于分别针对所述最终子群组中的所述第一者及所述第二者确定的所述噪声的所述特性选择用于应用到由所述检验子系统的所述检测器在所述样本或相同类型的另一样本的检验期间产生的所述输出的第一及第二缺陷检测方法。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述多边形的所述特性包括所述多边形的物理特性。

3.根据权利要求1所述的系统，其中通过沿着一个轴线投影所述多边形而执行所述区分。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述关注区域中的所述多边形包括所述样本的不只一个层上的多边形。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于从所述样本的设计确定所述样本上的所述多边形的所述特性。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于通过呈现所述样本的设计而确定所述样本上的所述多边形的所述特性。

7.根据权利要求1所述的系统，其中由所述检验子系统的所述检测器产生的用于确定所述噪声的所述特性的所述输出是通过使用所述检验子系统扫描所述样本而产生。

8.根据权利要求1所述的系统，其中确定所述噪声的所述特性包括执行所述输出的统计分析。

9.根据权利要求1所述的系统，其中确定所述噪声的所述特性包括确定由所述检验子系统的所述检测器针对所述样本上的所述多边形产生的所述输出组合由所述检验子系统的所述检测器针对另一样本上的所述不同初始子群组中的所述多边形产生的输出中的所述噪声的所述特性。

10.根据权利要求1所述的系统，其中确定所述噪声的所述特性包括确定由所述检验子系统的所述检测器针对所述样本上的在所述样本上的所述关注区域的不只一个例子中的所述不同初始子群组中的所述多边形产生的所述输出中的所述噪声的所述特性。

11.根据权利要求1所述的系统，其中确定所述噪声的所述特性及确定所述最终子群组在所述一或多个计算机子系统及所述检验子系统上实施为噪声扫描功能性。

12.根据权利要求11所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统及所述检验子系统经配置用于通过在由所述检验子系统的所述检测器产生的所述输出中收集图像帧数据且根据预定算法计算差异图像帧而实施所述噪声扫描。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述预定算法与由自其选择所述第一及第二缺陷检测方法的适用于所述样本或所述另一样本的所述检验的多个缺陷检测方法中的至少一者使用的预定算法相同。

14.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一及第二缺陷检测方法中的至少一者包括针对在所述检验期间由所述检验子系统的所述检测器产生的所述输出产生一维直方图。