[发明专利]基板清洗用刷在审
| 申请号： | 202080038113.4 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113874131A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 川口觉嗣;中垣知幸 | 申请（专利权）人： | 爱恩株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/04;B08B7/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 夏斌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板清洗用刷，在将支架上部(11)安装于刷旋转轴(2)的支架安装状态下，支架上部(11)的下表面和支架下部(18)的内周面划分出刷收纳空间(23)，支架底板部(19)的内周缘划分出比支架下部(18)的内径小径的圆形状的支架开口(24)。刷主体(30)的被保持部(31)为无法插通支架开口(24)的圆柱状，被收纳保持于刷收纳空间(23)。刷主体(30)的清洗部(32)为比被保持部(31)小径且能够插通刷开口(24)的圆柱状，插通支架开口(24)而朝下方突出。刷支架(10)的支架开口(24)的上下长度(L2)为清洗部(32)从刷主体(30)的被保持部(31)突出的突出长度(L1)的1/4以上且比清洗部(32)的突出长度(L1)短。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 | ||
【主权项】：
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