[发明专利]基板清洗用刷

权利要求书

1.一种基板清洗用刷，通过与轴心沿着上下方向延伸的基板清洗装置的刷旋转轴一体地旋转来清洗基板，其特征在于，具备：

刷支架，具有安装于上述刷旋转轴的下端的支架上部、在将上述支架上部安装于上述刷旋转轴的支架安装状态下从上述支架上部朝下方延伸的圆筒状的支架下部、以及在上述支架安装状态下从上述支架下部的下端内缘朝径向内侧突出的中空圆板状的支架底板部，在上述支架安装状态下，上述支架上部的下表面、上述支架下部的内周面以及上述支架底板部的上表面划分出刷收纳空间，上述支架底板部的内周缘划分出比上述支架下部的内径小径的圆形状的支架开口，上述刷收纳空间的中心轴以及上述支架开口的中心轴与上述刷旋转轴的上述轴心大致一致；以及

刷主体，一体地具有被保持部以及清洗部，上述被保持部为无法插通上述支架开口的圆柱状，被收纳保持于上述刷收纳空间，上述清洗部为比上述被保持部小径且能够插通上述支架开口的圆柱状，在上述支架安装状态的上述刷收纳空间中保持有上述被保持部的刷安装状态下，插通上述支架开口而朝下方突出，在上述刷安装状态下使上述清洗部的下表面从上方与上述基板接触而进行清洗，

上述刷支架的上述支架开口的上下长度为上述清洗部从上述刷主体的上述被保持部突出的突出长度的1/4以上且比上述清洗部的突出长度短。

2.根据权利要求1所述的基板清洗用刷，其特征在于，

上述刷支架具有圆筒状的刷变形限制部，该刷变形限制部在上述支架安装状态下从上述支架底板部的上述内周缘朝下方突出，

上述刷变形限制部的内周面与上述支架底板部的上述内周缘一起划分出上述支架开口。

3.根据权利要求1或2所述的基板清洗用刷，其特征在于，

在上述支架下部的上述内周面上形成有多个突起，该多个突起使收纳于上述刷收纳空间的上述刷主体的上述被保持部的外周面朝径向内侧局部地弹性变形。