[发明专利]基板清洗用刷

说明书

本发明涉及一种基板清洗用刷，在将支架上部(11)安装于刷旋转轴(2)的支架安装状态下，支架上部(11)的下表面和支架下部(18)的内周面划分出刷收纳空间(23)，支架底板部(19)的内周缘划分出比支架下部(18)的内径小径的圆形状的支架开口(24)。刷主体(30)的被保持部(31)为无法插通支架开口(24)的圆柱状，被收纳保持于刷收纳空间(23)。刷主体(30)的清洗部(32)为比被保持部(31)小径且能够插通刷开口(24)的圆柱状，插通支架开口(24)而朝下方突出。刷支架(10)的支架开口(24)的上下长度(L2)为清洗部(32)从刷主体(30)的被保持部(31)突出的突出长度(L1)的1/4以上且比清洗部(32)的突出长度(L1)短。

技术领域

本发明涉及一种基板清洗用刷，安装于对基板进行刷洗的基板清洗装置来使用。

背景技术

在专利文献1中记载有一种在由上部安装部和下部保持部构成的刷支架上保持刷主体而构成的基板清洗用刷。刷主体的上半部分为大径部，下半部分为比大径部小径的小径部。刷主体由多孔质材料形成，该多孔质材料形成有连续的气孔，具有亲水性，在湿润时呈现良好的柔软性、弹性。在刷支架的上部安装部的上表面中央部，一体地突出设置有用于将基板清洗用刷安装于基板清洗装置的刷旋转轴的卡止部。刷支架的下部保持部的内径尺寸比刷主体的大径部的外径稍大，在下部保持部的下端附近的内周面上一体地形成设置有支承环状部。支承环状部的内径尺寸比刷主体的小径部的外径稍大且比大径部的外径小。

在将刷主体组装于刷支架时，将刷主体的小径部插入到下部保持部的支承环状部的圆形孔中，将刷主体收纳在下部保持部内，然后使上部安装部的嵌合部嵌合安装于下部保持部的上端部。由此，刷主体被保持于刷支架，成为刷主体的下端面比下部保持部的下端朝下方突出的状态。

通过将基板清洗用刷安装于基板清洗装置的刷保持臂的刷旋转轴，一边使保持于旋转卡盘的基板绕铅垂轴旋转，一边向基板上供给纯水等清洗液，使基板清洗用刷一边自转一边从上方位置下降，在使刷主体的下表面与基板表面接触的状态下，使基板清洗用刷沿着基板的表面在基板上从中心部朝向周缘部移动，由此进行基板的清洗。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-181025号公报

发明内容

发明要解决的课题

在基于专利文献1的基板清洗用刷进行清洗时，刷主体的小径部的下表面在基板的表面上移动，柔软的小径部以相对于旋转轴(铅垂轴)倾斜的方式朝径向弹性变形，因此与小径部朝径向的弹性变形相对应，小径部相对于基板表面的接触压力也变动。因此，当能够朝径向弹性变形的小径部的上下方向的长度过大时，小径部的接触压力的变动也变大，难以均匀地清洗基板的被清洗面。因而，为了均匀地清洗被清洗面，优选在不损害小径部的清洗效果的范围(以产生所期望的清洗效果的方式弹性变形的范围)内，将能够朝径向弹性变形的小径部的上下方向的长度抑制得尽量短。

但是，在专利文献1的基板清洗用刷中，小径部插通薄板状的支承环状部的圆形孔，相对于小径部从大径部突出的突出长度来说，圆形孔的上下方向的长度极短。因此，能够朝径向弹性变形的小径部的上下方向的长度有可能变得过大，而无法均匀地清洗被清洗面。

因此，本发明的目的在于提供一种基板清洗用刷，适合均匀地清洗基板的被清洗面的整个区域。

为了实现上述目的，本发明的第1方案为一种基板清洗用刷，通过与轴心沿着上下方向延伸的基板清洗装置的刷旋转轴一体地旋转来清洗基板，其具备刷支架以及刷主体。