[发明专利]用于计量学中的经改进自叠纹光栅设计在审
| 申请号： | 202080020182.2 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN113557466A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | V·莱温斯基;F·约埃尔 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/60 | 分类号： | G02B27/60;G01B11/02;G01B11/25;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明公开一种使用于计量学中的光栅，其包含周期性结构，所述周期性结构包含具有间距P的多个单元，所述多个单元中的至少一个单元包含：至少第一周期性子结构，其具有小于所述间距P的第一子间距P1；及至少第二周期性子结构，其与所述至少一个单元内的所述第一周期性子结构并排且分开布置且具有小于所述间距P且与所述第一子间距P1不同的第二子间距P2，P1及P2经选择以产生至少一个叠纹间距P |
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| 搜索关键词： | 用于 计量学 中的 改进 光栅 设计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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