[发明专利]处理液供给装置及处理液供给装置的控制方法在审
| 申请号： | 202080019247.1 | 申请日： | 2020-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN113544419A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 门间彻;森田彰彦;柏山真人 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | F16K31/04 | 分类号： | F16K31/04;H02P8/14;H02P8/24;H02P8/36;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 陈甜甜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是在开关阀从打开状态要切换到关闭状态时，连续地对步进电动机供给驱动脉冲。通过步进电动机响应于驱动脉冲而旋转，阀体向阀座移动。响应于步进电动机的旋转而从编码器输出检测脉冲。因步进电动机停止旋转，而未从编码器输出连续的规定数的检测脉冲的情况下，停止供给驱动脉冲。在该状态下，完成开关阀从打开状态向关闭状态的切换。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 供给 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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