[发明专利]处理液供给装置及处理液供给装置的控制方法

说明书

本发明是在开关阀从打开状态要切换到关闭状态时，连续地对步进电动机供给驱动脉冲。通过步进电动机响应于驱动脉冲而旋转，阀体向阀座移动。响应于步进电动机的旋转而从编码器输出检测脉冲。因步进电动机停止旋转，而未从编码器输出连续的规定数的检测脉冲的情况下，停止供给驱动脉冲。在该状态下，完成开关阀从打开状态向关闭状态的切换。

技术领域

本发明涉及一种对衬底供给处理液的处理液供给装置及处理液供给装置的控制方法。

背景技术

从先前以来，为了对液晶显示装置或有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示装置等所使用的FPD(Flat Panel Display，平板显示器)用衬底、半导体衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、磁光盘用衬底、光罩用衬底、陶瓷衬底或太阳电池用衬底等各种衬底进行各种处理，使用衬底处理装置。

在衬底处理装置中，例如从处理液供给源经由配管及喷嘴对衬底供给处理液。在配管设置有开关阀。该开关阀在从喷嘴喷出处理液的打开状态与不从喷嘴喷出处理液的关闭状态之间进行切换。

在专利文献1中记载有一种用于控制所述开关阀的开关阀控制装置。在该开关阀控制装置中，开关阀的阀体封闭处理液的流路的位置被设定为闭止位置。基于所设定的闭止位置，通过步进电动机驱动阀体。

作为闭止位置而较为适当的位置有可能因构成开关阀的各种构件的磨损而发生变化。因此，定期且从动地设定闭止位置的原点(基准)。进行该设定时，首先，对步进电动机提供将阀体向关闭方向驱动的驱动脉冲。其次，检测出步进电动机的失步后，进而对步进电动机供给将阀体向关闭方向驱动的特定数的驱动脉冲。其后，对步进电动机供给将阀体向打开方向驱动的默认数的驱动脉冲。如此，检索阀体的闭止位置的原点，并且设定所检索的原点。

[专利文献1]日本专利特开2004-348227号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

如上所述，在专利文献1所记载的闭止位置的原点检索方法中，产生失步后，对步进电动机供给预先设定数的驱动脉冲。此时，如果流动于步进电动机的电流较大，则步进电动机产生较大的转矩，阀体被强力地压抵在阀座。因此，如果由于频繁进行闭止位置的原点检索而使阀体与阀座的接触部产生较大的变形，则开关阀寿命缩短，产生微粒。

此外，在所述原点检索方法中，由于在产生失步后进一步使阀体向关闭方向及打开方向移动，因此需要较长的时间。

进而，步进电动机在失步时旋转至作用于转子的转矩稳定的稳定点为止。然而，该旋转量始终不为固定量，难以准确地掌握。因此，如果仅在产生失步后以预先设定数的驱动脉冲使步进电动机动作，则难说一定会设定适当的闭止位置。

本发明的目的在于提供一种抑制开关阀的寿命缩短并且不需要长时间便可适当地关闭开关阀的处理液供给装置及处理液供给装置的控制方法。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明的一态样的处理液供给装置是对衬底供给处理液者，且包括：处理液流路，供流通应供给至衬底的处理液；开关阀，包括阀座及阀体，且设置在处理液流路；步进电动机，将开关阀在打开状态与关闭状态之间切换；驱动部，其对步进电动机供给驱动脉冲；编码器，响应于步进电动机的旋转而输出检测脉冲；及控制部，基于通过编码器输出的检测脉冲而控制驱动部；开关阀以如下方式构成：在从打开状态要切换到关闭状态时，步进电动机响应于由驱动供给的驱动脉冲而旋转，由此阀体向阀座移动；控制部在开关阀从打开状态要切换到关闭状态时，以连续地对步进电动机供给驱动脉冲的方式控制驱动部，如果未响应于对步进电动机连续供给驱动脉冲而从编码器输出连续的规定数的检测脉冲的情况下，以停止供给驱动脉冲的方式控制驱动部。