[发明专利]处理液供给装置及处理液供给装置的控制方法

权利要求书

1.一种处理液供给装置，对衬底供给处理液，且包括：

处理液流路，供流通应供给至衬底的处理液；

开关阀，包括阀座及阀体，且设置在所述处理液流路；

步进电动机，将所述开关阀在打开状态与关闭状态之间切换；

驱动部，对所述步进电动机供给驱动脉冲；

编码器，响应于所述步进电动机的旋转而输出检测脉冲；及

控制部，基于通过所述编码器输出的检测脉冲而控制所述驱动部；且

所述开关阀以如下方式构成：在从所述打开状态要切换到所述关闭状态时，所述步进电动机响应于由所述驱动部供给的所述驱动脉冲而旋转，由此所述阀体向所述阀座移动，

所述控制部在所述开关阀从所述打开状态要切换到所述关闭状态时，以连续地对所述步进电动机供给所述驱动脉冲的方式控制所述驱动部，如果未响应于对所述步进电动机连续供给所述驱动脉冲而从所述编码器输出连续的规定数的检测脉冲的情况下，以停止供给所述驱动脉冲的方式控制所述驱动部。

2.根据权利要求1所述的处理液供给装置，其中所述控制部以如下方式控制所述驱动部：从所述打开状态下的所述阀体的移动开始时至所述驱动脉冲的供给停止时间点之前的电流切换时间点为止供给的所述驱动脉冲的电流值，大于从所述电流切换时间点至所述驱动脉冲的供给停止时间点为止供给的所述驱动脉冲的电流值。

3.根据权利要求1或2所述的处理液供给装置，其中所述控制部在所述开关阀从所述打开状态要切换到所述关闭状态时，如果对所述步进电动机连续供给所述驱动脉冲经持续预先设定的时间的情况下，判定产生异常。

4.一种处理液供给装置的控制方法，是对衬底供给处理液的处理液供给装置的控制方法，且

所述处理液供给装置包括：

处理液流路，供流通应供给至衬底的处理液；

开关阀，包括阀座及阀体，且设置在所述处理液流路；

步进电动机，将所述开关阀在打开状态与关闭状态之间切换；

驱动部，对所述步进电动机供给驱动脉冲；及

编码器，响应于所述步进电动机的旋转而输出检测脉冲；

所述开关阀以如下方式构成：在从所述打开状态要切换到所述关闭状态时，所述步进电动机响应于通过所述驱动部供给的所述驱动脉冲而旋转，由此所述阀体向所述阀座移动，

所述控制方法包括如下步骤：

在所述开关阀从所述打开状态要切换到所述关闭状态时，以连续地对所述步进电动机供给所述驱动脉冲的方式控制所述驱动部；

如果未响应于对所述步进电动机连续供给所述驱动脉冲而从所述编码器输出连续的规定数的检测脉冲的情况下，以停止供给所述驱动脉冲的方式控制所述驱动部。

5.根据权利要求4所述的处理液供给装置的控制方法，还包括如下步骤：以从所述打开状态下的所述阀体的移动开始时至所述驱动脉冲的供给停止时间点之前的电流切换时间点为止供给的所述驱动脉冲的电流值，大于从所述电流切换时间点至所述驱动脉冲的供给停止时间点为止供给的所述驱动脉冲的电流值的方式，控制所述驱动部。

6.根据权利要求4或5所述的处理液供给装置的控制方法，还包括如下步骤：在所述开关阀从所述打开状态要切换到所述关闭状态时，如果对所述步进电动机连续供给所述驱动脉冲经持续预先设定的时间的情况下，判定产生异常。