[发明专利]大面积无缝母板和压印印模制造方法在审
| 申请号： | 202080016881.X | 申请日： | 2020-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN113490883A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 曼尼瓦南·托塔德里;凯文·劳顿·坎宁安;阿文德·查达 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B29C59/02;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容的实施方式总体涉及图案复制、压印光刻，并且更特别地涉及用于无接缝地形成大面积压印的方法和设备。本文公开的方法大体包括用填料材料填充在母板对之间的接缝，使得所述接缝与所述母板的具有设置在其上的多个特征的表面齐平。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 无缝 母板 压印 印模 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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