[发明专利]大面积无缝母板和压印印模制造方法

说明书

本公开内容的实施方式总体涉及图案复制、压印光刻，并且更特别地涉及用于无接缝地形成大面积压印的方法和设备。本文公开的方法大体包括用填料材料填充在母板对之间的接缝，使得所述接缝与所述母板的具有设置在其上的多个特征的表面齐平。

技术领域

本公开内容的实施方式总体涉及图案复制、压印光刻，并且更特别地涉及用于无接缝地形成大面积压印的方法和设备。

背景技术

压印光刻是接触图案化方法，其可用于制造纳米级图案。一般来讲，压印光刻通过形成图案的模板开始。液体，诸如光刻胶，沉积在要图案化的基板上。然后，将图案化模板压靠在液体上以将图案压印在基板上。然后，使图案化基板热固化或通过使用紫外光使其固化，以硬化在基板上的光刻胶中的图案化。

然而，常规的压印光刻方法和设备具有各种挑战。例如，常规的基于硅的压印光刻方法不适于大面积基板(大于300mm)，诸如显示装置，因为常规地使用的母板不够大，以致无法图案化大面积显示器。因此，一些常规的压印方法使用了已经彼此粘附的多个母板。然而，在母板之间和周边处形成了接缝，该接缝然后转移到了在基板上的图案化中。在接缝和周边处的图案化不规则性可能会导致装置效率降低并且甚至可能会导致装置失效。例如，在光导面板(LGP)的情况下，当接缝压印到LGP中时，它会成为可将光引导或耦合出LGP的表面特征。在液晶显示器(LCD)的情况下，当接缝压印到LCD中时，观察者将看到在显示器中的接缝或可能会导致Mura缺陷。

因此，需要可用于压印大面积基板的改进的压印光刻方法和设备。

发明内容

本公开内容的实施方式总体涉及图案复制、压印光刻，并且更特别地涉及用于无接缝地形成大面积压印的方法和设备。本文公开的方法大体包括用填料材料填充在母板对之间的接缝，使得所述接缝与所述母板的具有设置在其上的多个特征的表面齐平。

在一个实施方式中，一种形成无缝母板的方法包括：在基板上沉积第一防粘层；使多个母板在所述基板上对准，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，所述多个母板的所述第一表面与所述第一防粘层共形；以及将所述多个母板的第二表面粘附到背板，所述第二表面与所述第一表面相对。所述多个母板中的相邻母板具有在两者间从所述第一防粘层延伸到所述背板的接缝。所述方法进一步包括：用填料材料填充在所述多个母板中的所述相邻母板之间的所述接缝；使所述填料材料固化；以及从所述第一防粘层和所述基板移除所述多个母板。

在另一个实施方式中，一种形成无缝母板的方法包括：将多个母板粘附到背板，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，并且所述多个母板中的每对具有在两者间的接缝。所述多个母板的与所述第一表面相对的第二表面粘附到所述背板。所述方法进一步与包括：在所述多个母板中的每者的某一部分上方沉积掩蔽膜，所述部分设置在所述多个母板中的每者的所述第一表面上；用填料材料填充在所述多个母板中的每对之间的所述接缝；使所述填料材料固化；以及移除所述遮蔽膜。

在又一个实施方式中，一种形成无缝母板的方法包括：将多个母板粘附到背板，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，并且所述多个母板中的每对具有在两者间的接缝。所述多个母板的与所述第一表面相对的第二表面粘附到所述背板。所述方法进一步包括用填料材料填充在所述多个母板中的每对之间的所述接缝。填充在每对母板之间的所述接缝包括在所述多个母板中的每者的所述第一表面上沉积过量填料材料。所述方法进一步包括：使所述填料材料和所述过量填料材料固化；以及移除设置在所述多个母板中的每者的所述第一表面上的所述过量填料材料。

在一个实施方式中，一种形成无缝印模的方法包括：将多个母板粘附到背板，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，并且所述多个母板中的每对具有在两者间的接缝。所述多个母板的与所述第一表面相对的第二表面粘附到所述背板。所述方法进一步包括：将挡缝条放置在每个接缝上方，所述挡缝条与邻近所述接缝设置的所述多个母板中的每对的所述第一表面接触；在所述多个母板中的每者的所述第一表面以及所述挡缝条上方沉积印模材料；使所述印模材料固化；以及从所述多个母板移除所述印模材料以形成无缝印模，所述无缝印模包括挡缝条。