[实用新型]一种内导体组件、微波模式转换器及气相沉积系统

摘要

本实用新型提供了一种内导体组件、微波模式转换器及气相沉积系统，属于微波技术领域。内导体组件包括门钮及内导体，门钮及内导体均为同轴设置的回转体；门钮包括大端面和小端面，内导体通过小端面与门钮连接；大端面的边缘设置有圆周刃边。使用时，门钮通过圆周刃边与居心波导下盖板的内表面紧密配合，从而形成线接触。相对于面接触，门钮与下盖板之间不易产生缝隙，从而能够降低配合处放电的可能性，减小配合处对谐振腔放电性能的影响，提高放电性能的稳定性。