[实用新型]一种内导体组件、微波模式转换器及气相沉积系统

权利要求书

1.一种内导体组件，其特征在于，所述内导体组件包括门钮及内导体，所述门钮及内导体均为同轴设置的回转体；

所述门钮包括大端面，所述内导体与所述门钮连接；所述大端面的边缘设置有圆周刃边。

2.根据权利要求1所述的内导体组件，其特征在于，所述门钮的大端面上还设置有凸台，所述凸台为圆柱形，所述大端面与所述凸台的圆周表面呈锐角设置。

3.根据权利要求1所述的内导体组件，其特征在于，所述门钮与所述内导体一体成型。

4.根据权利要求1所述的内导体组件，其特征在于，所述大端面为内凹的锥形面。

5.一种微波模式转换器，其特征在于，包括矩形波导、圆形波导及权利要求1-4任一项所述的内导体组件；

所述矩形波导包括上盖板和下盖板，所述上盖板上设置有上部通孔，所述圆形波导一端连接于所述上部通孔处；所述门钮设置于所述矩形波导内，并与所述下盖板连接；所述门钮通过所述圆周刃边与所述下盖板的内表面配合。

6.根据权利要求5所述的微波模式转换器，其特征在于，所述下盖板上设置有安装孔，所述门钮还包括凸台，所述凸台嵌设在所述安装孔中。

7.根据权利要求6所述的微波模式转换器，其特征在于，所述安装孔中还设置有固定板，所述凸台与所述固定板通过螺钉连接。

8.根据权利要求7所述的微波模式转换器，其特征在于，所述内导体组件设置有轴向贯穿孔；所述固定板上设置有通孔；所述轴向贯穿孔与所述固定板的通孔同轴设置。

9.根据权利要求5所述的微波模式转换器，其特征在于，还包括环形的介质板，所述介质板安装于所述圆形波导的上端；所述内导体穿过所述介质板中部的通孔。

10.一种微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，包括权利要求5-9任一项所述的微波模式转换器或权利要求1-4任一项所述的内导体组件。