[实用新型]一种内导体组件、微波模式转换器及气相沉积系统

说明书

本实用新型提供了一种内导体组件、微波模式转换器及气相沉积系统，属于微波技术领域。内导体组件包括门钮及内导体，门钮及内导体均为同轴设置的回转体；门钮包括大端面和小端面，内导体通过小端面与门钮连接；大端面的边缘设置有圆周刃边。使用时，门钮通过圆周刃边与居心波导下盖板的内表面紧密配合，从而形成线接触。相对于面接触，门钮与下盖板之间不易产生缝隙，从而能够降低配合处放电的可能性，减小配合处对谐振腔放电性能的影响，提高放电性能的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及微波技术领域，具体而言，涉及一种内导体组件、微波模式转换器及气相沉积系统。

背景技术

微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)被认为是当今国际上制备高质量金刚石膜的首选、最先进方法；而上述方法需要用到专用的微波等离子体化学气相沉积系统。上述系统工作的基本原理为，将样品基片放置于圆形谐振腔中，将谐振腔抽真空，然后给谐振腔融入工艺气体；微波源通过微波传输组件以及微波模式转换器将矩形波导中微波朝圆形波导的转换。而专利公告号CN209389183U提供的微波模式转换器，其与矩形波导的配合处容易放电，进而影响谐振腔反应区的放电性能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种内导体组件及微波模式转换器，其大端面设置有圆周刃边，能够通过圆周刃边与矩形波导线接触，从而降低配合处产生缝隙的可能性，进而降低配合处放电的可能性，改善谐振腔的放电性能。

本实用新型的另一目的在于提供一种微波等离子体化学气相沉积系统，其采用了上述内导体组件或上述微波模式转换器。

本实用新型是这样实现的：

一种内导体组件，所述内导体组件包括门钮及内导体，所述门钮及内导体均为同轴设置的回转体；

所述门钮包括大端面，所述内导体与所述门钮连接；所述大端面的边缘设置有圆周刃边。

进一步；

所述门钮的大端面上还设置有凸台，所述凸台为圆柱形，所述大端面与所述凸台的圆周表面呈锐角设置。

进一步；

所述门钮与所述内导体一体成型。

进一步；

所述大端面为内凹的锥形面。

一种微波模式转换器，包括矩形波导、圆形波导及所述的内导体组件；

所述矩形波导包括上盖板和下盖板，所述上盖板上设置有上部通孔，所述圆形波导一端连接于所述上部通孔处；所述门钮设置于所述矩形波导内，并与所述下盖板连接；所述门钮通过所述圆周刃边与所述下盖板的内表面配合。

进一步；

所述下盖板上设置有安装孔，所述门钮还包括凸台，所述凸台嵌设在所述安装孔中。

进一步；

所述安装孔中还设置有固定板，所述凸台与所述固定板通过螺钉连接。

进一步；

所述内导体组件设置有轴向贯穿孔；所述固定板上设置有通孔；所述轴向贯穿孔与所述固定板的通孔同轴设置。

进一步；

还包括环形的介质板，所述介质板安装于所述圆形波导的上端；所述内导体穿过所述介质板中部的通孔。

一种微波等离子体化学气相沉积系统，包括所述的微波模式转换器或所述的微波传输组件。

本实用新型的有益效果是：