[实用新型]蒸镀坩埚及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202023343505.8 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214881793U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;轩景泉;王辉;马晓宇 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 肖丽 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和颈筒；坩埚本体为顶部开口的桶状结构；颈筒的一端与坩埚本体的顶部开口对接，另一端作为供蒸镀材料逸散的出口；其中，沿远离坩埚本体的方向，颈筒的口径先减小后增大。后者包括前者。由于坩埚本体的顶部开口处设置有颈筒，且沿远离坩埚本体1的方向颈筒的口径设置成先减小后增大，这样沙漏状的颈筒可以对坩埚本体的喷溅出来热融化状态下的蒸镀材料进行较好的阻挡，从而解决了现有的蒸镀坩埚在使用时存在的蒸镀材料易喷溅到基材、影响蒸镀品质的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海升翕光电科技有限公司，未经上海升翕光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023343505.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种水带码放设备
- 下一篇：一种顶喷出水切换结构及顶喷
- 同类专利
- 专利分类
