[实用新型]蒸镀坩埚及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202023343505.8 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214881793U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;轩景泉;王辉;马晓宇 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 肖丽 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体(1)，所述坩埚本体(1)为顶部开口的桶状结构；
颈筒(2)，一端与所述坩埚本体(1)的顶部开口对接，另一端作为供蒸镀材料逸散的出口；
其中，沿远离所述坩埚本体(1)的方向，所述颈筒(2)的口径先减小后增大。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，沿远离所述坩埚本体(1)的方向，所述颈筒(2)包括口径逐渐减小的第一筒段(21)和口径逐渐增大的第二筒段(22)；
其中，所述第二筒段(22)的长度大于所述第一筒段(21)的长度。
3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一筒段(21)与所述第二筒段(22)平滑对接。
4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述颈筒(2)的出口口径大于或等于所述坩埚本体(1)的口径。
5.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述颈筒(2)与所述坩埚本体(1)一体连接。
6.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述颈筒(2)与所述坩埚本体(1)通过连接件(11)可拆卸连接。
7.一种蒸镀装置，其特征在于，包括加热装置和权利要求1～5中任一项所述的蒸镀坩埚；
其中，所述加热装置设置于所述坩埚本体(1)的外部，能够对所述坩埚本体(1)中的蒸镀材料进行加热。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热装置包括：
第一加热器(3)，套设于所述坩埚本体(1)的外周壁；
第二加热器(4)，套设于所述颈筒(2)的外周壁。
9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括控制系统；
所述控制系统分别与所述第一加热器(3)、所述第二加热器(4)电连接，用于调控所述第一加热器(3)及所述第二加热器(4)的工作状态。
10.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括外壳(5)；
所述外壳(5)具有用于容装所述蒸镀坩埚的安装空间，且所述蒸镀坩埚安装于所述外壳(5)时，所述蒸镀坩埚与所述外壳(5)的内周壁间隔设置。
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