[实用新型]安装支架、监测装置和晶体生长设备有效
| 申请号： | 202023342117.8 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214700180U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 颜子棋 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F16M13/02 | 分类号： | F16M13/02;F16M11/12;F16M11/18;C30B15/26;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张文姣 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种安装支架、监测装置和晶体生长设备，安装支架包括安装座和驱动装置，驱动装置与安装座相连以驱动安装座运动，驱动装置包括第一滑台和第二滑台，第一滑台用于驱动安装座沿第一方向运动，第二滑台用于驱动安装座沿第二方向运动，其中，第一方向与第二方向之间夹角非零。根据本实用新型的安装支架，可以实现自动化调整、校准，减小了误差，便于实现自动化操作。 | ||
| 搜索关键词： | 安装 支架 监测 装置 晶体生长 设备 | ||
【主权项】：
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