[实用新型]安装支架、监测装置和晶体生长设备

说明书

本实用新型公开了一种安装支架、监测装置和晶体生长设备，安装支架包括安装座和驱动装置，驱动装置与安装座相连以驱动安装座运动，驱动装置包括第一滑台和第二滑台，第一滑台用于驱动安装座沿第一方向运动，第二滑台用于驱动安装座沿第二方向运动，其中，第一方向与第二方向之间夹角非零。根据本实用新型的安装支架，可以实现自动化调整、校准，减小了误差，便于实现自动化操作。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备技术领域，尤其是涉及一种安装支架、监测装置和晶体生长设备。

背景技术

晶体生长设备在生产晶体过程中，会对晶体生长进行监测以获取反馈信息，例如单晶炉生产单晶硅过程中，通常采用相机获取晶体图像以获取晶体直径等信息。

相关技术中，对晶体生长进行监测的监测组件需要作业人员人工直接手动调整监测组件的位置、角度等参数，易产生较大的调节、校准误差，且不利于实现晶体生产的自动化操作。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种安装支架，所述安装支架可以实现自动化调整、校准，减小了误差，便于实现自动化操作。

本实用新型还提出一种具有上述安装支架的监测装置。

本实用新型还提出一种具有上述监测装置的晶体生长设备。

根据本实用新型第一方面的安装支架，包括：安装座；驱动装置，所述驱动装置与所述安装座相连以驱动所述安装座运动，所述驱动装置包括第一滑台和第二滑台，所述第一滑台用于驱动所述安装座沿第一方向运动，所述第二滑台用于驱动所述安装座沿第二方向运动，其中，所述第一方向与所述第二方向之间夹角非零。

根据本实用新型的安装支架，通过设置驱动装置以驱动安装座沿第一方向和第二方向运动，可以改变安装座的位置提升了安装支架的自动化程度，便于提升安装支架的调整、校准精度，可以降低人工手动调节、校准监测组件带来的误差，且有利于实现自动化操作；同时安装支架在调整、校准以及维护时，可以只需一人操作即可，无需多人作业，节省了人力。

在一些实施例中，所述驱动装置还包括：转接件，所述第一滑台直接驱动所述转接件沿所述第一方向运动，所述转接件与所述第二滑台相连，所述第二滑台直接驱动所述安装座沿所述第二方向运动。

在一些实施例中，所述转接件与所述第二滑台固定相连，所述第一方向与所述第二方向垂直；或者，所述驱动装置包括第一旋转机构，所述转接件通过所述第一旋转机构与所述第二滑台活动相连，所述第一旋转机构用于驱动所述第二滑台绕所述第一旋转机构的中心轴线相对所述转接件转动，所述第一旋转机构的中心轴线与所述第一方向和所述第二方向分别垂直。

在一些实施例中，所述安装支架还包括：安装架，所述驱动装置设在所述安装架上。

在一些实施例中，所述安装支架还包括：底座，所述驱动装置包括第二旋转机构，所述安装架通过所述第二旋转机构与所述底座活动连接，所述第二旋转机构用于驱动所述安装架绕所述第二旋转机构的中心轴线相对所述底座转动，所述第二旋转机构的中心轴线与所述第一方向平行。

在一些实施例中，所述安装支架用于晶体生长设备，所述驱动装置适于与所述晶体生长设备的控制模块相连；或者，所述驱动装置适于与所述晶体生长设备的操作手柄相连。

根据本实用新型第二方面的用于晶体生长设备的监测装置，包括：安装支架，所述安装支架为根据本实用新型上述第一方面实施例的安装支架，所述安装支架适于安装在所述晶体生长设备的炉盖的观察口处；监测组件，所述监测组件安装在所述安装座上。

根据本实用新型的用于晶体生长设备的监测装置，通过采用上述的安装支架，可以实现监测组件的自动化调整、校准，便于实现晶体生产的自动化操作。