[实用新型]安装支架、监测装置和晶体生长设备

权利要求书

1.一种安装支架(100)，其特征在于，包括：

安装座(1)；

驱动装置(2)，所述驱动装置(2)与所述安装座(1)相连以驱动所述安装座(1)运动，所述驱动装置(2)包括第一滑台(21)和第二滑台(22)，所述第一滑台(21)用于驱动所述安装座(1)沿第一方向运动，所述第二滑台(22)用于驱动所述安装座(1)沿第二方向运动，其中，所述第一方向与所述第二方向之间夹角非零。

2.根据权利要求1所述的安装支架(100)，其特征在于，所述驱动装置(2)还包括：

转接件(23)，所述第一滑台(21)直接驱动所述转接件(23)沿所述第一方向运动，所述转接件(23)与所述第二滑台(22)相连，所述第二滑台(22)直接驱动所述安装座(1)沿所述第二方向运动。

3.根据权利要求2所述的安装支架(100)，其特征在于，

所述转接件(23)与所述第二滑台(22)固定相连，所述第一方向与所述第二方向垂直；或者，

所述驱动装置(2)包括第一旋转机构(24)，所述转接件(23)通过所述第一旋转机构(24)与所述第二滑台(22)活动相连，所述第一旋转机构(24)用于驱动所述第二滑台(22)绕所述第一旋转机构(24)的中心轴线相对所述转接件(23)转动，所述第一旋转机构(24)的中心轴线与所述第一方向和所述第二方向分别垂直。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的安装支架(100)，其特征在于，还包括：

安装架(3)，所述驱动装置(2)设在所述安装架(3)上。

5.根据权利要求4所述的安装支架(100)，其特征在于，还包括：

底座(4)，所述驱动装置(2)包括第二旋转机构(25)，所述安装架(3)通过所述第二旋转机构(25)与所述底座(4)活动连接，所述第二旋转机构(25)用于驱动所述安装架(3)绕所述第二旋转机构(25)的中心轴线相对所述底座(4)转动，所述第二旋转机构(25)的中心轴线与所述第一方向平行。

6.根据权利要求1所述的安装支架(100)，其特征在于，所述安装支架(100)用于晶体生长设备(1000)，

所述驱动装置(2)适于与所述晶体生长设备(1000)的控制模块相连；或者，

所述驱动装置(2)适于与所述晶体生长设备(1000)的操作手柄相连。

7.一种监测装置(200)，其特征在于，所述监测装置(200)用于晶体生长设备(1000),且包括：

安装支架(100)，所述安装支架(100)为根据权利要求1-6中任一项所述的安装支架(100)，所述安装支架(100)适于安装在所述晶体生长设备(1000)的炉盖(201)的观察口(201a)处；

监测组件(101)，所述监测组件(101)安装在所述安装座(1)上。

8.根据权利要求7所述的监测装置(200)，其特征在于，所述安装支架(100)还包括：

安装架(3)，所述安装架(3)适于直接或间接安装在所述炉盖(201)上且设在所述观察口(201a)处，所述驱动装置(2)设在所述安装架(3)上；

任选地，所述安装架(3)上形成有通口(3a)，所述通口(3a)适于与所述观察口(201a)正对设置，所述安装架(3)与所述通口(3a)相对设置且位于所述通口(3a)的远离所述观察口(201a)的一侧。