[实用新型]高纯氨的充装装置有效
| 申请号: | 202023336122.8 | 申请日: | 2020-12-30 |
| 公开(公告)号: | CN215569703U | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
| 发明(设计)人: | 潘佳伟;丁高松;赵晓兰;邹伟;鄢芝勇;李杰 | 申请(专利权)人: | 浙江英德赛半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号: | F17C5/02 | 分类号: | F17C5/02;F16L53/30;F16L53/38;F16L59/02 |
| 代理公司: | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人: | 郑文涛 |
| 地址: | 314400 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型提供一种高纯氨的充装装置,它包括充装管、液化器、抽送泵、汽化器,其特征在于,所述的充装管一段连接汽化器另一端连接液化器,所述的汽化器与抽送泵连接,所述的充装管外表面缠绕有加热管,所述的加热管外表面具有将加热管与充装管完全包裹的保温层,所述的加热管内具有冷媒介质,加热管一端封闭另一端连接有加热组件,所述的液化器出口处设有弧形且朝下弯曲的出液管。该充装装置通过缠绕式的加热管和包裹上保温层,使充装管内部气态氨维持气态所需的温度,充装效率高。 | ||
| 搜索关键词: | 高纯 装置 | ||
【主权项】:
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