[实用新型]高纯氨的充装装置有效

专利信息
申请号: 202023336122.8 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN215569703U 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 潘佳伟;丁高松;赵晓兰;邹伟;鄢芝勇;李杰 申请(专利权)人: 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
主分类号: F17C5/02 分类号: F17C5/02;F16L53/30;F16L53/38;F16L59/02
代理公司: 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 代理人: 郑文涛
地址: 314400 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供一种高纯氨的充装装置,它包括充装管、液化器、抽送泵、汽化器,其特征在于,所述的充装管一段连接汽化器另一端连接液化器,所述的汽化器与抽送泵连接,所述的充装管外表面缠绕有加热管,所述的加热管外表面具有将加热管与充装管完全包裹的保温层,所述的加热管内具有冷媒介质,加热管一端封闭另一端连接有加热组件,所述的液化器出口处设有弧形且朝下弯曲的出液管。该充装装置通过缠绕式的加热管和包裹上保温层,使充装管内部气态氨维持气态所需的温度,充装效率高。
搜索关键词: 高纯 装置
【主权项】:
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