[实用新型]高纯氨的充装装置有效
| 申请号： | 202023336122.8 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN215569703U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 潘佳伟;丁高松;赵晓兰;邹伟;鄢芝勇;李杰 | 申请（专利权）人： | 浙江英德赛半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/02 | 分类号： | F17C5/02;F16L53/30;F16L53/38;F16L59/02 |
| 代理公司： | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人： | 郑文涛 |
| 地址： | 314400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯氨的充装装置，它包括充装管、液化器、抽送泵、汽化器，其特征在于，所述的充装管一端连接汽化器另一端连接液化器，所述的汽化器与抽送泵连接，所述的充装管外表面缠绕有加热管，所述的加热管外表面具有将加热管与充装管完全包裹的保温层，所述的加热管内具有导热介质，加热管一端封闭另一端连接有加热组件，所述的液化器出口处设有弧形且朝下弯曲的出液管。
2.根据权利要求1所述的一种高纯氨的充装装置，其特征在于：所述的保温层为聚氨酯保温管，其厚度为2.0-5.0mm。
3.根据权利要求1所述的一种高纯氨的充装装置，其特征在于：所述的充装管表面根据加热管缠绕方向设有供加热管贴靠的弧形的凹陷处。
4.根据权利要求1所述的一种高纯氨的充装装置，其特征在于：所述的加热组件为电加热器和电加热丝，电加热丝设置在加热管内部，电加热器设置在加热管外端。
5.根据权利要求1所述的一种高纯氨的充装装置，其特征在于：所述的导热介质为水。
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