[实用新型]一种自动涂胶显影装置有效
| 申请号： | 202023309929.2 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214812275U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 周杰;张琪;李俊毅;符友银 | 申请（专利权）人： | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C11/10;B05C13/02;H01L21/67;G03F7/16;G03F7/30 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 乐俊 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经开区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动涂胶显影装置，包括底架，所述底架的顶部转动连接有主轴，主轴的下端连接有驱动装置，主轴上转动套接有轴套，轴套的下端连接有承载板，承载板与底架之间设有升降部件。本实用新型结构简单，将晶圆置于转盘，通过气管抽气，使转盘内部形成负压状态，从而吸盘将晶圆紧紧吸附在转盘上，在晶圆中心置入光阻胶，气缸伸长，保证转盘进入储胶罩中，此时电机通过齿轮传动，带动转盘转动，在离心力的作用下，光阻均匀涂抹在转盘，多余的的光阻则进入储胶罩，避免随处乱溅，随后气缸回缩，转盘相对储胶罩上升，直至伸出储胶罩，方便拿取晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 涂胶 显影 装置 | ||
【主权项】：
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