[实用新型]一种自动涂胶显影装置有效
| 申请号： | 202023309929.2 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214812275U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 周杰;张琪;李俊毅;符友银 | 申请（专利权）人： | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C11/10;B05C13/02;H01L21/67;G03F7/16;G03F7/30 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 乐俊 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经开区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动 涂胶 显影 装置 | ||
1.一种自动涂胶显影装置，包括底架(1)，其特征在于，所述底架(1)的顶部转动连接有主轴(6)，主轴(6)的下端连接有驱动装置，主轴(6)上转动套接有轴套(8)，轴套(8)的下端连接有承载板(7)，承载板(7)与底架(1)之间设有升降部件，轴套(8)上套接有储胶罩(9)，主轴(6)的上端连接有转盘(12)，转盘(12)和主轴(6)均为中空结构，转盘(12)下端转动连接有气管(2)，气管(2)位于主轴(6)中，转盘(12)的顶部均匀分布于与转盘(12)连通的吸盘(13)。
2.根据权利要求1所述的一种自动涂胶显影装置，其特征在于，所述转盘(12)的外圈等距连接有吸气头(11)，吸气头(11)与转盘(12)内部连通。
3.根据权利要求2所述的一种自动涂胶显影装置，其特征在于，所述驱动装置包括安装在底架(1)上的电机(3)，电机(3)的输出端连接有主动锥齿轮，主动锥齿轮啮合有从动锥齿轮(4)，从动锥齿轮(4)与主轴(6)连接。
4.根据权利要求3所述的一种自动涂胶显影装置，其特征在于，所述升降部件包括安装在底架(1)顶部的气缸(5)，气缸(5)的输出端与承载板(7)连接，多个气缸(5)等间距分布在承载板(7)与底架(1)之间。
5.根据权利要求4所述的一种自动涂胶显影装置，其特征在于，所述储胶罩(9)的底部外侧连通有出胶管(10)，出胶管(10)的端部螺纹连接有密封盖。
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