[实用新型]一种半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置有效
| 申请号： | 202023309839.3 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN215236597U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 江磊 | 申请（专利权）人： | 富士胶片电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/34 | 分类号： | B08B9/34;B08B13/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 王利斌 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置，包括容器，容器周围设有容器支架，容器腔体内设有氮气管路，氮气管路靠近容器底端的一端设有喷头，氮气管路远离喷头的另一端设有氮气气源，氮气管路与氮气气源之间的管路上分别设有与之连接的纯水管路、气体过滤器与调压装置，纯水管路远离氮气管路的另一端设有超纯水水源，纯水管路与超纯水水源之间分别设有纯水过滤器与增压泵。本实用新型的有益效果：纯水管道和氮气管道在截止阀后交汇，连接至喷淋管道，喷淋管道的末端装有球形喷头，此外，该装置还包括承载容器的支架，先通过超纯水气流对容器内表面喷淋清洗，然后再通过高纯氮气对容器内壁进行吹扫干燥，达到高效减排的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 化学品 容器 喷淋 清洗 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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