[实用新型]一种半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置有效
| 申请号： | 202023309839.3 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN215236597U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 江磊 | 申请（专利权）人： | 富士胶片电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/34 | 分类号： | B08B9/34;B08B13/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 王利斌 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 化学品 容器 喷淋 清洗 干燥 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置，包括容器（1），其特征在于：所述容器（1）周围设有容器支架（14），所述容器（1）腔体内设有氮气管路（4），所述氮气管路（4）靠近所述容器（1）底端的一端设有喷头（2），所述氮气管路（4）远离所述喷头（2）的另一端设有氮气气源（9），所述氮气管路（4）与所述氮气气源（9）之间的管路上分别设有与之连接的纯水管路（5）、气体过滤器（6）与调压装置（7），所述纯水管路（5）远离所述氮气管路（4）的另一端设有超纯水水源（13），所述纯水管路（5）与所述超纯水水源（13）之间分别设有纯水过滤器（10）与增压泵（12）。
2.根据权利要求1所述的半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置，其特征在于：所述喷头（2）为球形喷头，其外周围开设有多个喷洒孔（3）。
3.根据权利要求1所述的半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置，其特征在于：所述调压装置（7）上设有第一压力显示表（8）。
4.根据权利要求1所述的半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置，其特征在于：所述纯水过滤器（10）与所述增压泵（12）之间的管路上设有第二压力显示表（11）。
5.根据权利要求1所述的半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置，其特征在于：所述氮气管路（4）与所述纯水管路（5）靠近所述容器（1）的一端均设有截止阀。
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