[实用新型]气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统有效
| 申请号： | 202023289168.9 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214437715U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 徐建;朱刘;蔡云雷;陈振宇 | 申请（专利权）人： | 清远先导材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D5/00;B01D53/02;C01B23/00;C01B19/04;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统，气相沉积炉尾气包括硒化氢和氩气混合气体，回收装置包括缓冲罐、压缩机、冷凝器、吸附器、纯化器和储气罐。缓冲罐的第一进气口用于接收来自气相沉积炉的硒化氢和氩气混合气体，缓冲罐的第一出气口与压缩机的第一进口相连，压缩机的第一出口与冷凝器的第二进气口相连，冷凝器的第二出气口与吸附器的第二进口相连，吸附器的第二出口与纯化器的第三进气口相连，纯化器的第三出气口与储气罐的第四进气口相连，从而实现将硒化氢和氩气有效分离来分别回收，能够提高氩气和硒化氢的回收效率和回收利用率。气相沉积炉系统包括硒化氢‑氩气混合器、气相沉积炉和气相沉积炉尾气的回收装置。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 尾气 回收 装置 和气 系统 | ||
【主权项】：
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