[实用新型]气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统

说明书

本公开提供了一种气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统，气相沉积炉尾气包括硒化氢和氩气混合气体，回收装置包括缓冲罐、压缩机、冷凝器、吸附器、纯化器和储气罐。缓冲罐的第一进气口用于接收来自气相沉积炉的硒化氢和氩气混合气体，缓冲罐的第一出气口与压缩机的第一进口相连，压缩机的第一出口与冷凝器的第二进气口相连，冷凝器的第二出气口与吸附器的第二进口相连，吸附器的第二出口与纯化器的第三进气口相连，纯化器的第三出气口与储气罐的第四进气口相连，从而实现将硒化氢和氩气有效分离来分别回收，能够提高氩气和硒化氢的回收效率和回收利用率。气相沉积炉系统包括硒化氢‑氩气混合器、气相沉积炉和气相沉积炉尾气的回收装置。

技术领域

本公开涉及气体回收领域，尤其涉及一种气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统。

背景技术

硒化氢是一种重要的电子气体，硒化氢通常与氩气混合使用。硒化氢与氩气的混合气在经过气相沉积炉后硒化氢大部分被消耗，氩气不参与反应。氩气与未反应的硒化氢的混合气体从气相沉积炉排放，氩气与硒化氢的混合气体的回收通常利用率和效率低下。

实用新型内容

鉴于现有技术存在的缺陷，本公开的目的在于提供一种气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统，其能提高氩气和硒化氢的回收效率和回收利用率。

为了实现上述目的，一方面，本公开提供了一种气相沉积炉尾气的回收装置，气相沉积炉尾气包括硒化氢和氩气混合气体，所述回收装置包括缓冲罐、压缩机、冷凝器、吸附器、纯化器和储气罐。所述缓冲罐的第一进气口用于接收来自气相沉积炉的硒化氢和氩气混合气体，所述缓冲罐的第一出气口与所述压缩机的第一进口相连，所述压缩机的第一出口与所述冷凝器的第二进气口相连，所述冷凝器的第二出气口与所述吸附器的第二进口相连，所述吸附器的第二出口与所述纯化器的第三进气口相连，所述纯化器的第三出气口与所述储气罐的第四进气口相连。

在一实施例中，所述冷凝器设置有液体回收口，所述液体回收口设置于所述冷凝器的底部。

在一实施例中，所述储气罐的顶部设置有气体回收口。

在一实施例中，所述压缩机的第一进口和第一出口位于所述冷凝器的顶部。

在一实施例中，所述吸附器的第二进口位于所述吸附器的顶部，所述吸附器的第二出口位于所述吸附器的底部。

在一实施例中，所述纯化器的第三进气口位于所述纯化器的顶部，所述纯化器的第三出气口位于所述纯化器的底部。

为了实现上述目的，另一方面，本公开提供了一种气相沉积炉系统，所述气相沉积炉系统包括硒化氢-氩气混合器、气相沉积炉和前述的气相沉积炉尾气的回收装置。所述回收装置的储气罐设置有气体回收口，所述气体回收口与所述硒化氢-氩气混合器的进气端连接，且所述硒化氢-氩气混合器的出气端、所述气相沉积炉以及所述回收装置的缓冲罐的第一进气口依次连接。

本公开的有益效果如下：

在根据本公开的气相沉积炉尾气的回收装置中，硒化氢和氩气混合气体通过缓冲罐稳定压力，再通过压缩机加压后进入冷凝器，在冷凝器内硒化氢和氩气混合气体与低温冷媒作用，硒化氢冷凝为硒化氢液体，硒化氢液体收集到冷凝器的底部，氩气仍以气体形式存在，并且氩气经过吸附器吸附提纯，经过吸附提纯的氩气进入纯化器纯化，最终由储气罐收集，从而实现将硒化氢和氩气有效分离来分别进行回收，回收的硒化氢和氩气品质较高，并且回收装置简单便于操作和控制，因此能够提高氩气和硒化氢的回收效率和回收利用率。

在根据本公开的气相沉积炉系统中，通过回收装置将硒化氢和氩气混合气体分离回收，分离得到的氩气可返回到硒化氢-氩气混合器的进气端，直接作为气相沉积炉的原料气使用，从而提高回收效率和回收利用率。

附图说明

图1为根据本公开的气相沉积炉尾气的回收装置的示意图。

图2为根据本公开的气相沉积炉系统的示意图。