[实用新型]气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统

权利要求书

1.一种气相沉积炉尾气的回收装置，气相沉积炉尾气包括硒化氢和氩气混合气体，其特征在于，所述回收装置(100)包括缓冲罐(1)、压缩机(2)、冷凝器(3)、吸附器(4)、纯化器(5)和储气罐(6)；

所述缓冲罐(1)的第一进气口(11)用于接收来自气相沉积炉(300)的硒化氢和氩气混合气体，所述缓冲罐(1)的第一出气口(12)与所述压缩机(2)的第一进口(21)相连，所述压缩机(2)的第一出口(22)与所述冷凝器(3)的第二进气口(31)相连，所述冷凝器(3)的第二出气口(32)与所述吸附器(4)的第二进口(41)相连，所述吸附器(4)的第二出口(42)与所述纯化器(5)的第三进气口(51)相连，所述纯化器(5)的第三出气口(52)与所述储气罐(6)的第四进气口(61)相连。

2.根据权利要求1所述的气相沉积炉尾气的回收装置，其特征在于，所述冷凝器(3)设置有液体回收口(33)，所述液体回收口(33)设置于所述冷凝器(3)的底部。

3.根据权利要求1所述的气相沉积炉尾气的回收装置，其特征在于，所述储气罐(6)的顶部设置有气体回收口(62)。

4.根据权利要求1所述的气相沉积炉尾气的回收装置，其特征在于，所述压缩机(2)的第一进口(21)和第一出口(22)位于所述压缩机(2)的顶部。

5.根据权利要求1所述的气相沉积炉尾气的回收装置，其特征在于，所述吸附器(4)的第二进口(41)位于所述吸附器(4)的顶部，所述吸附器(4)的第二出口(42)位于所述吸附器(4)的底部。

6.根据权利要求1所述的气相沉积炉尾气的回收装置，其特征在于，所述纯化器(5)的第三进气口(51)位于所述纯化器(5)的顶部，所述纯化器(5)的第三出气口(52)位于所述纯化器(5)的底部。

7.一种气相沉积炉系统，其特征在于，所述气相沉积炉系统包括硒化氢-氩气混合器(200)、气相沉积炉(300)和根据权利要求1-6中任一项所述的气相沉积炉尾气的回收装置(100)；

所述回收装置(100)的储气罐(6)设置有气体回收口(62)，所述气体回收口(62)与所述硒化氢-氩气混合器(200)的进气端(200a)连接，且所述硒化氢-氩气混合器(200)的出气端(200b)、所述气相沉积炉(300)以及所述回收装置(100)的缓冲罐(1)的第一进气口(11)依次连接。