[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202023286822.0 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214315604U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 沈宇;石正雨 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/18 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 张曾明 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底、与所述基底间隔设置的振膜、固定于所述基底并环绕在所述振膜外周的锚定部、以及连接所述振膜和所述锚定部之间的弹性支撑件；所述锚定部绕设于所述振膜外周并与所述振膜间隔形成环绕所述振膜的间隙，所述振膜悬置于所述背腔一侧且沿所述基底的轴向的正投影落入所述背腔内，所述振膜对应背腔的区域处凸设有挡板。本实用新型可以改善传统MEMS麦克风膜片间隙在残余应力或振动过程中缝隙扩大的问题，以降低其低频灵敏度的损失，从而提高了MEMS麦克风的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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