[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底、与所述基底间隔设置的振膜、固定于所述基底并环绕在所述振膜外周的锚定部、以及连接所述振膜和所述锚定部之间的弹性支撑件；所述锚定部绕设于所述振膜外周并与所述振膜间隔形成环绕所述振膜的间隙，所述振膜悬置于所述背腔一侧且沿所述基底的轴向的正投影落入所述背腔内，其特征在于，所述振膜对应背腔的区域处凸设有挡板。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：多个所述弹性支撑件对称设置于所述振膜外周。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述振膜周缘延伸且位于相邻两所述弹性支撑件之间。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：各所述挡板沿所述振膜的周缘对称且间隔设置。

5.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：单个所述挡板沿所述轴向形成有凹槽。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述间隙的宽度方向的尺寸小于所述挡板沿所述轴向的长度尺寸。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜沿振动方向包括依次层叠的第一电极片、压电膜片和第二电极片，所述第一电极片设置于所述振膜靠近所述背腔的一侧。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述挡板设置于所述第一电极片远离所述压电膜片的一侧；和/或，所述挡板设置于所述第二电极片远离所述压电膜片的一侧。