[实用新型]一种Wafer自动换盘装置有效
| 申请号： | 202023279995.X | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214298248U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 刘方照;陈大罗;刘佳佳;周鹏宇;郑宇;张星星 | 申请（专利权）人： | 深圳宝创电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 冯建华;彭涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区公明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种Wafer自动换盘装置，包括：换盘组件，设置在所述换盘组件一侧的晶环抓取组件；所述换盘组件包括：基准安装板，设置在所述基准安装板上的第一驱动装置，晶环固定座，与所述第一驱动装置输出端连接的升降板，安装在所述升降板上的定位座，对称设置在所述定位座上的晶环定位板；所述晶环定位板与所述定位座之间设置有定位槽，所述定位座套在所述晶环固定座上；所述晶环抓取组件包括：水平驱动装置，设置在所述水平驱动装置上的气爪组件。本实用新型可进行自动换盘操作，自动化程度高，有效提高生产效率，降低生产成本；同时可节约停机时间，提高生产速度，大大提升了整机的产能，避免了手动换盘的操作风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 wafer 自动 装置 | ||
【主权项】：
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