[实用新型]一种Wafer自动换盘装置

权利要求书

1.一种Wafer自动换盘装置，其特征在于，包括：换盘组件，设置在所述换盘组件一侧的晶环抓取组件；所述换盘组件包括：基准安装板，设置在所述基准安装板上的第一驱动装置，晶环固定座，与所述第一驱动装置输出端连接的升降板，安装在所述升降板上的定位座，对称设置在所述定位座上的晶环定位板；所述晶环定位板与所述定位座之间设置有定位槽，所述定位座套在所述晶环固定座上；所述晶环抓取组件包括：水平驱动装置，设置在所述水平驱动装置上的气爪组件。

2.根据权利要求1所述的一种Wafer自动换盘装置，其特征在于，还包括：设置在所述换盘组件上侧的CCD检测仪，设置在所述换盘组件一侧的晶环提蓝。

3.根据权利要求1所述的一种Wafer自动换盘装置，其特征在于，所述换盘组件还包括：安装在所述基准安装板上的第二驱动装置、转盘；所述晶环固定座与所述第二驱动装置输出端连接，所述晶环固定座安装在所述转盘内。

4.根据权利要求1所述的一种Wafer自动换盘装置，其特征在于，所述基准安装板上对称设置有四个固定块，所述固定块内设置有螺杆；所述螺杆的一端均与所述第一驱动装置输出端连接，且另一端与所述升降板连接。

5.根据权利要求1所述的一种Wafer自动换盘装置，其特征在于，所述换盘组件还包括：设置所述定位槽内的晶元盘，设置在所述定位座上的卡柱；所述晶环定位板上设置有与所述卡柱相配合的卡槽。

6.根据权利要求1所述的一种Wafer自动换盘装置，其特征在于，所述晶环固定座、定位座均为圆柱形，所述晶环固定座的内径小于所述定位座的内径。

7.根据权利要求1所述的一种Wafer自动换盘装置，其特征在于，所述气爪组件包括：安装座，安装在所述安装座上的气爪；所述安装座安装在所述水平驱动装置上，所述水平驱动装置为线性模组。

8.根据权利要求3所述的一种Wafer自动换盘装置，其特征在于，所述第一驱动装置为驱动电机，所述第二驱动装置为旋转电机。