[实用新型]坩埚结构有效
| 申请号: | 202023276734.2 | 申请日: | 2020-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN214115776U | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
| 发明(设计)人: | 王旻峰;张洁;汪良;付芬;邓树军 | 申请(专利权)人: | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 严诚 |
| 地址: | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种坩埚结构,涉及碳化硅单晶生产技术领域。该坩埚结构包括坩埚盖、坩埚桶及填充柱,坩埚桶用于容置原料,坩埚盖用于盖设于坩埚桶顶部的开口。填充柱的口径由两端至中部逐渐减小,且填充柱竖直设置于坩埚桶内,并与坩埚盖的中部对应,从而占据坩埚桶内的部分空间。该坩埚结构具有能够提高原料利用率的特点。 | ||
| 搜索关键词: | 坩埚 结构 | ||
【主权项】:
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