[实用新型]坩埚结构有效

专利信息
申请号: 202023276734.2 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN214115776U 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 王旻峰;张洁;汪良;付芬;邓树军 申请(专利权)人: 湖南三安半导体有限责任公司
主分类号: C30B29/36 分类号: C30B29/36;C30B23/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 严诚
地址: 410000 湖南省长沙市高新开发*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型公开了一种坩埚结构,涉及碳化硅单晶生产技术领域。该坩埚结构包括坩埚盖、坩埚桶及填充柱,坩埚桶用于容置原料,坩埚盖用于盖设于坩埚桶顶部的开口。填充柱的口径由两端至中部逐渐减小,且填充柱竖直设置于坩埚桶内,并与坩埚盖的中部对应,从而占据坩埚桶内的部分空间。该坩埚结构具有能够提高原料利用率的特点。
搜索关键词: 坩埚 结构
【主权项】:
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