[实用新型]坩埚结构有效
| 申请号: | 202023276734.2 | 申请日: | 2020-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN214115776U | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
| 发明(设计)人: | 王旻峰;张洁;汪良;付芬;邓树军 | 申请(专利权)人: | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 严诚 |
| 地址: | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 坩埚 结构 | ||
1.一种坩埚结构,其特征在于,包括坩埚盖(11)、坩埚桶(12)及填充柱(13);
所述坩埚桶(12)用于容置原料(900),所述坩埚盖(11)用于盖设于所述坩埚桶(12)顶部的开口;
所述填充柱(13)的口径由两端至中部逐渐减小,且所述填充柱(13)竖直设置于所述坩埚桶(12)内,并与所述坩埚盖(11)的中部对应,从而占据所述坩埚桶(12)内的部分空间。
2.根据权利要求1所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)为石墨柱,且所述填充柱(13)的底端与所述坩埚桶(12)的底壁接触。
3.根据权利要求1所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)包括第一填充部(131)和第二填充部(132),所述第一填充部(131)和第二填充部(132)均呈圆台状设置,且所述第一填充部(131)口径较小的一端与所述第二填充部(132)口径较小的一端可拆卸地连接。
4.根据权利要求3所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)还包括第三填充部(133),所述第三填充部(133)呈柱状设置,且所述第三填充部(133)的两端分别与所述第一填充部(131)口径较小的一端以及所述第二填充部(132)口径较小的一端可拆卸地连接,从而连接所述第一填充部(131)和第二填充部(132)。
5.根据权利要求4所述的坩埚结构,其特征在于,所述第一填充部(131)上口径较小的一端端面和所述第三填充部(133)的一端端面抵持。
6.根据权利要求3所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)为实心柱,或者,所述填充柱(13)为中空的筒状结构。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)上凸设有多条第一导热凸条(136),多条所述第一导热凸条(136)依次排列设置于所述填充柱(13)的侧面。
8.根据权利要求7所述的坩埚结构,其特征在于,多条所述第一导热凸条(136)均水平地绕设于所述填充柱(13)外侧面。
9.根据权利要求1-6任意一项所述的坩埚结构,其特征在于,所述坩埚桶(12)上凸设有多条第二导热凸条(122),多条所述第二导热凸条(122)依次排列设置于所述坩埚桶(12)的内侧壁。
10.根据权利要求9所述的坩埚结构,其特征在于,多条所述第二导热凸条(122)均水平地绕设于所述坩埚桶(12)的内侧壁。
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