[实用新型]坩埚结构有效

专利信息
申请号: 202023276734.2 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN214115776U 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 王旻峰;张洁;汪良;付芬;邓树军 申请(专利权)人: 湖南三安半导体有限责任公司
主分类号: C30B29/36 分类号: C30B29/36;C30B23/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 严诚
地址: 410000 湖南省长沙市高新开发*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 坩埚 结构
【权利要求书】:

1.一种坩埚结构,其特征在于,包括坩埚盖(11)、坩埚桶(12)及填充柱(13);

所述坩埚桶(12)用于容置原料(900),所述坩埚盖(11)用于盖设于所述坩埚桶(12)顶部的开口;

所述填充柱(13)的口径由两端至中部逐渐减小,且所述填充柱(13)竖直设置于所述坩埚桶(12)内,并与所述坩埚盖(11)的中部对应,从而占据所述坩埚桶(12)内的部分空间。

2.根据权利要求1所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)为石墨柱,且所述填充柱(13)的底端与所述坩埚桶(12)的底壁接触。

3.根据权利要求1所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)包括第一填充部(131)和第二填充部(132),所述第一填充部(131)和第二填充部(132)均呈圆台状设置,且所述第一填充部(131)口径较小的一端与所述第二填充部(132)口径较小的一端可拆卸地连接。

4.根据权利要求3所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)还包括第三填充部(133),所述第三填充部(133)呈柱状设置,且所述第三填充部(133)的两端分别与所述第一填充部(131)口径较小的一端以及所述第二填充部(132)口径较小的一端可拆卸地连接,从而连接所述第一填充部(131)和第二填充部(132)。

5.根据权利要求4所述的坩埚结构,其特征在于,所述第一填充部(131)上口径较小的一端端面和所述第三填充部(133)的一端端面抵持。

6.根据权利要求3所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)为实心柱,或者,所述填充柱(13)为中空的筒状结构。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的坩埚结构,其特征在于,所述填充柱(13)上凸设有多条第一导热凸条(136),多条所述第一导热凸条(136)依次排列设置于所述填充柱(13)的侧面。

8.根据权利要求7所述的坩埚结构,其特征在于,多条所述第一导热凸条(136)均水平地绕设于所述填充柱(13)外侧面。

9.根据权利要求1-6任意一项所述的坩埚结构,其特征在于,所述坩埚桶(12)上凸设有多条第二导热凸条(122),多条所述第二导热凸条(122)依次排列设置于所述坩埚桶(12)的内侧壁。

10.根据权利要求9所述的坩埚结构,其特征在于,多条所述第二导热凸条(122)均水平地绕设于所述坩埚桶(12)的内侧壁。

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