[实用新型]一种能够增强显影效果的显影装置有效
| 申请号： | 202023251674.9 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214122683U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 杨女燕 | 申请（专利权）人： | 陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 戴媛 |
| 地址： | 710119 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够增强显影效果的显影装置，包括显影腔室，显影腔室内底部连接旋转转轴，旋转转轴上连接晶圆载台，显影腔室上壁穿接显影液出液管，显影液出液管位于显影腔室内的一端在晶圆载台上方；通过喷嘴喷洒显影液，通过旋转转轴转动带动晶圆载台，在喷洒显影液时能够铺料均匀，避免铺料时出现气泡，且减少显影液的浪费。本实用新型的装置增加了背洗的功能，主要洗去从上方流下的显影液残余；侧边的氮气吹扫能使晶圆显影后保持一个干净的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 增强 显影 效果 装置 | ||
【主权项】：
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