[实用新型]一种能够增强显影效果的显影装置

权利要求书

1.一种能够增强显影效果的显影装置，其特征在于，包括显影腔室(1)，所述显影腔室(1)内底部连接旋转转轴(11)，所述旋转转轴(11)上连接晶圆载台(9)，所述显影腔室(1)上壁穿接显影液出液管(4)，所述显影液出液管(4)位于显影腔室(1)内的一端在晶圆载台(9)上方。

2.根据权利要求1所述一种能够增强显影效果的显影装置，其特征在于，所述显影腔室(1)上壁穿接去离子水出液管(3)，所述去离子水出液管(3)位于显影腔室(1)内的一端在晶圆载台(9)上方。

3.根据权利要求2所述一种能够增强显影效果的显影装置，其特征在于，所述显影液出液管(4)、去离子水出液管(3)位于显影腔室(1)内的一端均连接出液喷嘴(5)，所述出液喷嘴(5)固定在晶圆载台(9)上方。

4.根据权利要求3所述一种能够增强显影效果的显影装置，其特征在于，所述出液喷嘴(5)包括四个孔，其中三个孔形成等边三角形，第四个孔开设于等边三角形的中部。

5.根据权利要求2所述一种能够增强显影效果的显影装置，其特征在于，所述去离子水出液管(3)、显影液出液管(4)均连接机械臂(2)。

6.根据权利要求1所述一种能够增强显影效果的显影装置，其特征在于，所述显影腔室(1)侧壁穿接氮气吹气管(6)，所述氮气吹气管(6)正对晶圆载台(9)侧面。

7.根据权利要求1所述一种能够增强显影效果的显影装置，其特征在于，所述显影腔室(1)侧壁穿接背洗出液管(7)，所述背洗出液管(7)位于显影腔室(1)内的一端正对晶圆载台(9)上底面。

8.根据权利要求1所述一种能够增强显影效果的显影装置，其特征在于，所述显影腔室(1)底部开设废液排出孔(8)。