[实用新型]一种LDI设备吸盘压板装置有效
| 申请号： | 202023250683.6 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN215181397U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 肖燕青;王翰文;陈海巍;王方江 | 申请（专利权）人： | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 221000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种LDI设备吸盘压板装置，包括吸盘(1)、固定压板机构(2)和移动压板机构(3)，固定压板机构(2)位于吸盘(1)一端。移动压板机构(3)包括导轨(302)、滑块转接件(303)、压板(301)、气缸(305)和压板转接件(306)，导轨(302)固定在吸盘(1)两侧，导轨(302)上具有滑块转接件(303)，气缸(305)固定在滑块转接件(303)，压板转接件(306)固定在气缸(305)的活塞杆上，压板(301)位于滑块转接件(303)前端。本实用新型的装置，固定压板机构和移动压板机构内均具有挠性机构，避免压板时损伤板面；固定压板机构采用整根转轴驱动压板块，确保压板块同步压板，提高动作效率可靠性；移动压板机构采用斜向压板，方便上下取放板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ldi 设备 吸盘 压板 装置 | ||
【主权项】：
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