[实用新型]一种LDI设备吸盘压板装置有效

专利信息
申请号: 202023250683.6 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN215181397U 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 肖燕青;王翰文;陈海巍;王方江 申请(专利权)人: 江苏影速集成电路装备股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 代理人: 张勇
地址: 221000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 ldi 设备 吸盘 压板 装置
【权利要求书】:

1.一种LDI设备吸盘压板装置,包括吸盘(1)、固定压板机构(2)和移动压板机构(3),固定压板机构(2)位于吸盘(1)一端,其特征在于:

移动压板机构(3)包括导轨(302)、滑块转接件(303)、压板(301)、气缸(305)和压板转接件(306),导轨(302)固定在吸盘(1)两侧,导轨(302)上具有滑块转接件(303),气缸(305)固定在滑块转接件(303)上,压板转接件(306)固定在气缸(305)的活塞杆上,压板(301)位于滑块转接件(303)前端;活塞杆伸出时带动压板(301)升起;活塞杆收回时带动压板(301)下压。

2.根据权利要求1所述的一种LDI设备吸盘压板装置,其特征在于,固定压板机构(2)包括转轴(206)和转动机构,转轴(206)上具有压板头(204);转动机构带动转轴(206)转动使压板头(204)下压;所述转轴(206)上具有若干组弹簧固定块(203)、扭簧(202)和压板转接块(205),弹簧固定块(203)固定在转轴(206)上,扭簧(202)和压板转接块(205)可活动的串在转轴(206)上,扭簧(202)的一端卡在弹簧固定块(203),扭簧(202)的另一端卡在压板转接块(205)上,压板转接块(205)上具有压板头(204);转动机构带动转轴(206)转动,弹簧固定块(203)带动扭簧(202)一起运动,扭簧(202)转动时带动压板转接块(205)一起转动使压板头(204)下压。

3.根据权利要求2所述的一种LDI设备吸盘压板装置,其特征在于,所述转动机构是摆动气缸(201)。

4.根据权利要求2所述的一种LDI设备吸盘压板装置,其特征在于,所述转动机构包括动力机构和传动机构,动力机构是摆动气缸(201),所述传动机构是齿轮组(207)。

5.根据权利要求4所述的一种LDI设备吸盘压板装置,其特征在于,所述摆动气缸(201)和齿轮组(207)上还具有保护罩(208)。

6.根据权利要求1所述的一种LDI设备吸盘压板装置,其特征在于,所述滑块转接件(303)前端具有凸块(6),凸块(6)上具有销轴(307),压板(301)两端具有凸台(7),凸块(6)位于凸台(7)上方,凸台(7)上具有导向槽,销轴(307)下部位于导向槽内,销轴(307)的下端穿过凸台(7),销轴(307)的下端部具有用于挡住凸台(7)的挡片(8),销轴(307)上具有弹簧(308);弹簧(308)两端分别抵住凸块(6)和导向槽底部;活塞杆伸出时,凸块(6)上升,弹簧(308)伸长,凸块(6)通过销轴(307)带动凸台(7)和压板(301)升起;活塞杆收回时,凸块(6)下降压紧弹簧(308)带动压板(301)下压。

7.根据权利要求1所述的一种LDI设备吸盘压板装置,其特征在于,所述滑块转接件(303)上还具有导轨钳制器(304)。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种LDI设备吸盘压板装置,其特征在于,所述气缸(305)的活塞杆伸缩方向与所述吸盘(1)的垂线具有一定夹角,夹角的范围是20~70°。

9.根据权利要求1所述的一种LDI设备吸盘压板装置,其特征在于,固定压板机构(2)包括伸缩气缸(5),伸缩气缸(5)的活塞杆上固定有升降气缸,压板(301)的两端分别固定在升降气缸的活塞杆上;所述滑块转接件(303)上也固定有伸缩气缸(5),伸缩气缸(5)的活塞杆上固定有升降气缸,所述压板(301)的两端分别固定在升降气缸(4)的活塞杆上,伸缩气缸平行于所述吸盘盘面伸缩,升降气缸垂直于所述吸盘(1)盘面升降;所述滑块转接件(303)上还具有与所述伸缩气缸(5)行程对应的标尺。

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