[实用新型]一种LDI设备吸盘压板装置有效
申请号: | 202023250683.6 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN215181397U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 肖燕青;王翰文;陈海巍;王方江 | 申请(专利权)人: | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人: | 张勇 |
地址: | 221000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ldi 设备 吸盘 压板 装置 | ||
一种LDI设备吸盘压板装置,包括吸盘(1)、固定压板机构(2)和移动压板机构(3),固定压板机构(2)位于吸盘(1)一端。移动压板机构(3)包括导轨(302)、滑块转接件(303)、压板(301)、气缸(305)和压板转接件(306),导轨(302)固定在吸盘(1)两侧,导轨(302)上具有滑块转接件(303),气缸(305)固定在滑块转接件(303),压板转接件(306)固定在气缸(305)的活塞杆上,压板(301)位于滑块转接件(303)前端。本实用新型的装置,固定压板机构和移动压板机构内均具有挠性机构,避免压板时损伤板面;固定压板机构采用整根转轴驱动压板块,确保压板块同步压板,提高动作效率可靠性;移动压板机构采用斜向压板,方便上下取放板。
技术领域
本实用新型涉及LDI设备领域,具体涉及一种LDI设备吸盘压板装置。
背景技术
现有PCB厂家开料时普遍存在板边翘曲问题,板边翘曲时进行曝光会导致板翘处线路曝光不良。现有LDI设备常用的解决方式时使用吸盘抽真空的方式将板边翘曲吸下来,但是部分板件翘曲过大难以由吸盘独立完成吸附,在此状态下强行曝光,会导致线路曝光不良从而影响曝光良率,甚至因板件未吸牢而引发事故。
专利CN109856928A公开了一种直写光刻机吸盘压板装置,通过设置若干固定点压装置和移动压杆机构将翘曲的PCB板材压平,使PCB板材可以正常生产、曝光,提高光刻机的良率和实用性。但是这种方式通过机械臂完成取板和放板,整个过程中需要先将移动压杆机构移出PCB板材区域才能进行取板和放板操作,动作时间不一致,且时间较长,一定程度上会影响效率;同时,采用若干固定点压装置压板安装距离不可调,不能满足客户不同尺寸的板件需求,且固定点压装置下压距离固定,PCB板材厚度不一,对于较厚的板材可能造成损坏,对于较薄的板材则无法很好的压住。
专利CN104977815A公开了一种直写式曝光系统中的扫描台,该装置中,压板横梁是一种橡胶压板,通过橡胶压板上的橡胶进行缓冲以防止损伤板件,但是橡胶在这种曝光系统中很容易老化,耐用性不高。随着橡胶的老化,其缓冲效果就大大折扣,并且其压住板件时的真实压力与设计压力就会偏移较大,导致压力过大而压坏板件,此时就得停机更换橡胶条或进行检修校准,影响生产进度。
实用新型内容
[技术问题]
本实用新型的技术问题为:现有的压板装置通用性、耐用性不高。
[技术方案]
本实用新型的目的是提供一种LDI设备吸盘压板装置,以适应不同尺寸、板厚的板材规格要求,并提高其耐用性,缩短压板机构工作时间,检修时间,提高加工效率。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案具体如下:
一种LDI设备吸盘压板装置,包括吸盘、固定压板机构和移动压板机构,固定压板机构位于吸盘一端,移动压板机构包括导轨、滑块转接件、压板、气缸和压板转接件,导轨固定在吸盘两侧,导轨上具有滑块转接件,气缸固定在滑块转接件上,压板转接件固定在气缸的活塞杆上,压板位于滑块转接件前端;活塞杆伸出时带动压板升起;活塞杆收回时带动压板下压。
进一步的,固定压板机构包括转轴和转动机构,转轴上具有压板头;转动机构带动转轴转动使压板头下压;所述转轴上具有若干组弹簧固定块、扭簧和压板转接块,弹簧固定块固定在转轴上,扭簧和压板转接块可活动的串在转轴上,扭簧的一端卡在弹簧固定块,扭簧的另一端卡在压板转接块上,压板转接块上具有压板头;转动机构带动转轴转动,弹簧固定块带动扭簧一起运动,扭簧转动时带动压板转接块一起转动使压板头下压。
进一步的,所述转动机构是摆动气缸。
进一步的,所述转动机构包括动力机构和传动机构,动力机构是摆动气缸,所述传动机构是齿轮组。
进一步的,所述摆动气缸和齿轮组上还具有保护罩。
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