[实用新型]微波功率源、微波等离子体装置有效
| 申请号： | 202023243091.1 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN213783673U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 林默原;章莹;姚利峰 | 申请（专利权）人： | 苏州迈微能等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 吴芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微波功率源、微波等离子体装置，微波功率源包括微波信号发生器，用于产生微波信号；信号调节单元，用于对微波信号的幅度、相位进行调节，并用于加载不同频率与占空比的脉冲信号；半导体放大单元；信号传输与负载检测单元，用于将半导体放大单元放大的微波信号发送至负载，并对发送的微波信号以及由负载产生的微波反射信号进行检测，得到检测采样信号；控制单元，用于接收并分析检测采样信号，以根据分析结果来控制微波信号发生器的信号发射频率和/或控制信号调节单元调节方式。本实用新型实现自动点火频率搜索、自动点火流程以及自调谐流程，解决了目前传统微波等离子设备较难自动点火，难以稳定工作的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 功率 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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