[实用新型]微波功率源、微波等离子体装置

权利要求书

1.一种微波功率源，其特征在于，包括：

微波信号发生器，用于根据指令产生相应发射频率的微波信号；

信号调节单元，用于对所述微波信号发生器产生的微波信号的幅度、相位进行调节，并用于加载不同频率与占空比的脉冲信号；

半导体放大单元，用于对所述信号调节单元调节的微波信号进行放大；

信号传输与负载检测单元，用于将所述半导体放大单元放大的微波信号发送至负载，并对发送至所述负载的微波信号以及由负载失配产生的微波反射信号进行检测，得到检测采样信号；

控制单元，用于控制所述微波信号发生器的信号发射频率。

2.根据权利要求1所述的微波功率源，其特征在于，所述信号调节单元包括可控衰减器、可控移相器、可控高速射频开关，其中，所述可控衰减器用于接收所述控制单元的控制指令并根据所述控制指令对微波信号进行衰减；所述可控移相器用于接收所述控制单元的控制指令并根据所述控制指令对微波信号的相位进行调节；所述可控高速射频开关用于接收所述控制单元的控制指令并根据所述控制指令对微波信号进行脉冲调制。

3.根据权利要求1所述的微波功率源，其特征在于，所述信号传输与负载检测单元包括传输定向耦合器、环形器、反射定向耦合器、传输功率检波模块和反射功率检波模块，其中，所述传输定向耦合器、环形器和反射定向耦合器用于将所述放大的微波信号传输至负载。

4.根据权利要求3所述的微波功率源，其特征在于，所述传输功率检波模块用于对传输至负载的微波信号进行耦合取样检波并将得到的第一检波电压信号发送至所述控制单元。

5.根据权利要求3所述的微波功率源，其特征在于，所述反射功率检波模块用于对由负载失配产生的微波反射信号进行耦合取样检波并将得到的第二检波电压信号发送至所述控制单元。

6.根据权利要求1所述的微波功率源，其特征在于，所述微波信号发生器包括分立设置或集成设置的压控振荡器和锁相环，以实现产生的微波信号在25-3000MHz频率范围内可调。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的微波功率源，其特征在于，所述负载为等离子体发生装置。

8.一种微波等离子体装置，其特征在于，包括等离子体发生装置及如权利要求1至7中任意一项所述的微波功率源，所述等离子体发生装置接收所述微波功率源的信号传输与负载检测单元传输的微波信号，以在所述等离子体发生装置的管口产生能够击穿气体而产生等离子体的电场。