[实用新型]一种用于微波还原铜框架表面氧化物的载具

摘要

本实用新型属于芯片塑封技术领域，公开了一种用于微波还原铜框架表面氧化物的载具，包括载具框架，所述载具框架安装在支撑柱上，载具框架上开有若干卡槽，所述卡槽的侧壁上设有台阶，卡槽的开口处设有挡墙。所述卡槽开口端的载具框架侧壁上设有磁珠，所述挡墙利用磁珠吸附在卡槽的开口处。所述卡槽开口端的载具框架侧壁的两端下侧设有挡块，所述挡墙上对应挡块的位置设有缺口。本实用新型结构简单，便于携带，能够大幅提高产能，减少操作过程中导致的铜框架变形翘曲金丝变形的影响；能够保持铜框架较好的共面性，实现整体整形的作用。