[实用新型]一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统有效
| 申请号： | 202023231923.8 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214469022U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请（专利权）人： | 浙江中电环境科技有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/167 | 分类号： | F24F3/167;F24F5/00;F24F8/108;F24F8/26;F24F13/02;F24F13/28 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王家蕾 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，包括空调净化箱、空气净化处理机组、臭氧发生器、加热器、U型框和挤压板，所述空调净化箱的内部安装有第一分隔板，所述空调净化箱的内部安装有第二分隔板，所述空调净化箱内部远离第一分隔板的一端安装有第三分隔板，且第三分隔板的内部开设有通孔，所述空调净化箱内部底端靠近第一分隔板的一端安装有第一底座，且第一底座的顶端安装有贯穿第一分隔板的空气净化处理机组。该氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，通过螺纹杆移动来带动挤压板对HEPA过滤网进行夹紧固定，从而便于操作人员对HEPA过滤网进行安装和拆卸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 半导体 生产 洁净室 净化 空调 系统 | ||
【主权项】：
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